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forno a camera di 1200C Max. Lab PECVD Tube con la consegna del gas & il pulsometro

forno a camera di 1200C Max. Lab PECVD Tube con la consegna del gas & il pulsometro

1200C Max. Lab PECVD Tube Furnace with Gas Delivery & Vacuum Pump

Dettagli:

Luogo di origine: La Cina
Marca: Brother Furnace
Certificazione: CE
Numero di modello: BR-PECVD

Termini di pagamento e spedizione:

Quantità di ordine minimo: 1 set
Prezzo: Negotiation
Imballaggi particolari: Forte scatola di legno per trasporto globale
Tempi di consegna: 7-21 giorni lavorativi
Termini di pagamento: L / C, T / T, Western Union
Capacità di alimentazione: 200 insiemi al mese
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Descrizione di prodotto dettagliata
Temperatura massima: 1200℃ Vuoto normale: -0.1Mpa
Vuoto massimo: Pompa molecolare di configurazione, PA di vuoto 7x10-4 (facoltativo) Flangia: flangia di sigillamento dell'acciaio inossidabile 304
Protezione a temperatura eccessiva: automatico spenga quando la temperatura supera il valore stabilito permissibile Protezione di sicurezza: Spenga automaticamente quando il corpo della fornace cola
Struttura della fornace: ventola di raffreddamento doppia d'acciaio di doppio strato, temperatura in superficie sotto 50℃ Tasso di riscaldamento massimo: 20°C /min
Precisione di temperatura: ±1℃ Uniformità di temperatura: ±5℃
Controllo della temperatura: 50 segmenti programmabili e controllo automatico tubo di fornace: Metropolitana del quarzo
Applicazione: PECVD

forno a camera di 1200C Max. Lab PECVD Tube con la consegna del gas & il pulsometro
 
 
Introduzione intelligente di PECVD:
Il sistema di PECVD è destinato per fare diminuire la temperatura della reazione di CVD tradizionale. Ha installato l'attrezzatura di induzione di rf davanti a CVD tradizionale per ionizzare la reazione del gas, in modo dal plasma è generato. Il plasma ad alta attività è la reazione è accelerato dovuto l'ad alta attività di plasma. Così, questo sistema è chiamato PECVD.
Questo modello è il più nuovo prodotto, ha sintetizzato i vantaggi della maggior parte del sistema del tubo PECVD ed ha aggiunto il preriscaldamento della zona nella parte anteriore del sistema di PECVD. Gli esami hanno provato che la velocità del deposito è più rapida, qualità del film è migliori, i fori è di meno e non si fenderanno. Il sistema di controllo intelligente completamente automatico di AISO è progettato indipendente dalla nostra società, è più conveniente da funzionare e la sua funzione è più potente.
Ampia gamma di applicazione: film a film metallico e ceramico, film composito, crescita continua di vari film. Facile aumentare la funzione, può ampliare incissione all'acquaforte di pulizia del plasma ed altre funzioni
 
 
Caratteristica principale:
 

  • Alto tasso di deposito del film: La tecnologia di incandescenza di rf, notevolmente aumentante il tasso di deposito del film, il tasso di deposito può raggiungere 10Å/S
     
  • Alta uniformità di area: La tecnologia d'alimentazione multipunto avanzata di rf, la distribuzione speciale del percorso del gas e la tecnologia riscaldamenta, ecc., fanno la portata 8% di indice dell'uniformità del film
     
  • Alta consistenza: facendo uso del concetto di progetto avanzato dell'industria a semiconduttore, la deviazione fra i substrati dell'un deposito è meno di 2%
     
  • Alta stabilità trattata: L'attrezzatura altamente stabile assicura il processo continuo e stabile

forno a camera di 1200C Max. Lab PECVD Tube con la consegna del gas & il pulsometro
 
 
Pezzi di ricambio di norma:

  • Tappo dei pc del tubo 4
  • Pc del tubo di fornace 1
  • Pc del pulsometro 1
  • Insiemi della flangia 2 della sigillatura sotto vuoto
  • Pc del vacuometro 1
  • Consegna del gas & pulsometro
  • Attrezzatura del plasma di rf

 
Pezzi di ricambio facoltativi:
 

  • Flangia del rilascio rapido, flangia a tre corsie
  • Ghiaione a 7 pollici di tocco di HD

 
 
 
Specificazione standard del forno a camera di 1200℃ PECVD:
 

1. Sistema di riscaldamento
Max.temperature1200℃ (1 ora)
Temperatura di lavoro≤1100℃
Dimensione della cameraΦ100*1650mm (il diamater della metropolitana è personalizzabile)
Materiale della cameraCartone di fibra dell'allumina di elevata purezza
TermocoppiaTipo di K
Temperatureaccuracy±1℃
Controllo della temperatura

segmenti programmabili del ● 50 per controllo preciso del tasso di riscaldamento, del tasso di raffreddamento e del tempo di permanenza.

● sviluppato nella funzione di Automatico-aria di PID con protezione rotta termocoppia di surriscaldamento & rotta.

Sistema di controllo automatico dello SpA del ● dal regolatore del PC dentro.

Il ● il sistema del controllo della temperatura, scorrevole il sistema (tempo e distanza) potrebbe essere controllato dal programma.

Lunghezza del riscaldamento440mm
Lunghezza costante del riscaldamento200mm
Elemento riscaldanteCavo di resistenza
Alimentazione elettricaMonofase, 220V, 50Hz
Potere stimato9kW
2. Fonte del plasma di rf
Frequenza di rf13,56 MHz±0.005%
Potenza di uscita500W
Massimo rifletta il potere500W
La rf ha prodotto l'interfaccia50 Ω, N tipo, femminili
Stabilità di potere±0.1%
Componente armonica≤-50dbc
Tensione di rifornimento/frequenzaMonofase AC220V 50/60HZ
Intera efficienza>=70%
Fattore di potenza>=90%
Metodo di raffreddamentoAd aria forzata
3. Sistema di controllo di massa di tre flussometri di precisione
Dimensione esterna600x600x650mm
Tipo del connettoreGiunto di Swagelok ss
Gamma standard (N2)0~100sccm, 0~200sccm, o personalizzabile
Accuratezza±1.5%
Lineare±0.5~1.5%
Ripetibilità±0.2%
Tempo di reazione

Proprietà del gas: Sec 1~4;
Proprietà elettrica: Sec 10

Campo di pressione0.1~0.5 MPa
Max.pressure3MPa
InterfacciaΦ6,1/4»
Esposizioneun'esposizione di 4 cifre
Temperatura ambientegas di elevata purezza 5~45
Manometro- 0.1~0.15 MPa, 0,01 MPa/unità
La valvola d'arrestoΦ6
Lucidi il tubo degli ssΦ6
Sistema basso di vuoto incluso
 

 
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