Luogo di origine: | La Cina |
Marca: | Brother Furnace |
Certificazione: | CE |
Numero di modello: | BR-PECVD |
Quantità di ordine minimo: | 1 set |
---|---|
Prezzo: | Negotiation |
Imballaggi particolari: | Forte scatola di legno per trasporto globale |
Tempi di consegna: | 7-21 giorni lavorativi |
Termini di pagamento: | L / C, T / T, Western Union |
Capacità di alimentazione: | 200 insiemi al mese |
Temperatura massima: | 1200℃ | Vuoto normale: | -0.1Mpa |
---|---|---|---|
Vuoto massimo: | Pompa molecolare di configurazione, PA di vuoto 7x10-4 (facoltativo) | Flangia: | flangia di sigillamento dell'acciaio inossidabile 304 |
Protezione a temperatura eccessiva: | automatico spenga quando la temperatura supera il valore stabilito permissibile | Protezione di sicurezza: | Spenga automaticamente quando il corpo della fornace cola |
Struttura della fornace: | ventola di raffreddamento doppia d'acciaio di doppio strato, temperatura in superficie sotto 50℃ | TASSO DI RISCALDAMENTO DI MAX: | 20°C /min |
Accuratezza di temperatura: | ±1℃ | Uniformità di temperatura: | ±5℃ |
Controllo della temperatura: | 50 segmenti programmabili e controllo automatico | Tubo di fornace: | Tubo del quarzo |
Applicazione: | Il plasma ha migliorato LPCVD | ||
Evidenziare: | forno a camera girante,forno a camera del quarzo |
Pezzi di ricambio di norma:
Pezzi di ricambio facoltativi:
Specificazione standard spaccata del forno a camera del laboratorio PECVD:
1. Sistema di riscaldamento | ||
Max.temperature | 1200℃ (1 ora) | |
Temperatura di lavoro | ≤1100℃ | |
Dimensione della camera | Φ100*1650mm (il diamater della metropolitana è personalizzabile) | |
Materiale della camera | Cartone di fibra dell'allumina di elevata purezza | |
Termocoppia | Tipo di K | |
Temperatureaccuracy | ±1℃ | |
Controllo della temperatura |
segmenti programmabili del ● 50 per controllo preciso del tasso di riscaldamento, del tasso di raffreddamento e del tempo di permanenza. ● sviluppato nella funzione di Automatico-aria di PID con protezione rotta termocoppia di surriscaldamento & rotta. Sistema di controllo automatico dello SpA del ● dal regolatore del PC dentro. Il ● il sistema del controllo della temperatura, scorrevole il sistema (tempo e distanza) potrebbe essere controllato dal programma. |
|
Lunghezza del riscaldamento | 440mm | |
Lunghezza costante del riscaldamento | 200mm | |
Elemento riscaldante | Cavo di resistenza | |
Alimentazione elettrica | Monofase, 220V, 50Hz | |
Potere stimato | 9kW | |
2. Fonte del plasma di rf | ||
Frequenza di rf | 13,56 MHz±0.005% | |
Potenza di uscita | 500W | |
Massimo rifletta il potere | 500W | |
La rf ha prodotto l'interfaccia | 50 Ω, N tipo, femminili | |
Stabilità di potere | ±0.1% | |
Componente armonica | ≤-50dbc | |
Tensione di rifornimento/frequenza | Monofase AC220V 50/60HZ | |
Intera efficienza | >=70% | |
Fattore di potenza | >=90% | |
Metodo di raffreddamento | Ad aria forzata | |
3. Sistema di controllo di massa di tre flussometri di precisione | ||
Dimensione esterna | 600x600x650mm | |
Tipo del connettore | Giunto di Swagelok ss | |
Gamma standard (N2) | 0~100sccm, 0~200sccm, o personalizzabile | |
Accuratezza | ±1.5% | |
Lineare | ±0.5~1.5% | |
Ripetibilità | ±0.2% | |
Tempo di reazione |
Proprietà del gas: Sec 1~4; |
|
Campo di pressione | 0.1~0.5 MPa | |
Max.pressure | 3MPa | |
Interfaccia | Φ6,1/4» | |
Esposizione | un'esposizione di 4 cifre | |
Temperatura ambiente | gas di elevata purezza 5~45 | |
Manometro | - 0.1~0.15 MPa, 0,01 MPa/unità | |
La valvola d'arresto | Φ6 | |
Lucidi il tubo degli ss | Φ6 | |
Sistema basso di vuoto incluso |
Perché forno a camera spaccato del laboratorio PECVD del fratello?
I clienti da più di 30 paesi ci scelgono
Migliore servizio, risposta veloce
Se siete interessato in nostra fornace migliorata plasma di 1200℃ LPCVD con il pulsometro, ora contattici per ottenere una citazione!
Persona di contatto: li
Telefono: +8613526693072